Integrált áramkörök technológiája

Tartalom

I. BEVEZETÉS 3
II. A PLANÁRIS TECHNOLÓGIA 5
II.1. Alapvető tranzisztortipusok 5
II.2. A planáris technológia egyes müveletei 8
III.3. Epltaxiás-planáris szilícium-tranzisztor előállítása 9
IIl. MONOLITIKUS INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK ELŐÁLLÍTÁSA 12
III.1. A monolitikus áramkör fogalma . 12
III.2. A monolitikus integrálás 14
III.3. Monolitikus szigetelés 16
III.3.1. lc P-N átmenettel szigetelt áramkörök 17
III.3.2. Dielektromos szigetelésű monolitikus integrált áramkörök 27
III. 4. Sziliciumalapu monolitikus integrált áramkör előállítása rejtett réteges-epitaxiás-diffúziós eljárással 30
III.5. Térvezérléses áramkörök technológiája 33
IV. INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK ELŐÁLLÍTÁSI ELJÁRÁSAI 35
IV. 1. Szilícium-egykristály lemezek előállítása 36
IV. 1.1. Az elemi szilícium legfontosabb fizikai és kémiai sajátságai 36
IV. 1.2. Polikristályos szilícium előállítása 37
IV. 1.3. Polikristályos szilícium tisztítása 43
IV. 1.4. Szilícium egykristályok előállítása 44
IV. 1.5. Szilicium egykristályok minősítése 48
IV. 1.6. Szilicium szeletek készítése egykristályos sziliciumöntecsből 49
IV. 2. Integrált áramkörök előállítása sziliciumlemezen 50
IV. 2.1. Védő oxidréteg előállítása sziliciumlemezek felületén 51
IV 2.2. Egykristályos rétegek növesztése gázfázisból (Epitaxiás rétegnövesztés) 69
IV. 2.3. Diffúziós műveletek 90
IV.2.4. Fotogravirozás 139
IV. 2.5. Ohmos kontaktusok és fémösszekötések készitése 146
IV. 2.6. Kémiai maratás . 148
IV. 2.7. Sziliciumnitrid rétegek előállítása 153
IV. 3. Szerelés és tokozás 157
IV. 3.1. Hátsó oldalán "foce up") rögzített áramkörök szerelési technikája 160
IV. 3.2. "Aktív" oldalon felszerelt áramkörök szerelési technikája 166
MONOLITIKUS INTEGRÁLT ÁRAMKÖRI ELEMEK 172
V.1. A monolitikus tranzisztor 173
V.2. Monolitikus dióda 179
V. 3. Monolitikus ellenállások 179
V.4. Kondenzátorok előállítása 183
V.4.1. P-N átmenet kondenzátorok 183
V. 4.2. Fém-oxid-fél vezető (MOS) kondenzátorok 183
V. 5. MOS-integrált áramkörök elemei . 185
V. 6. Többrétegű fémezés készitése 186
VI. IRODALOMJEGYZÉK 187

Témakörök