Vékony- és vastagréteg integrált áramkörök technológiája

Kézirat/Budapesti Műszaki Egyetem Villamosmérnöki Kar, Szakmérnöki Tagozat

Szerző

Budapest

'Dr. Katona János: Vékony- és vastagréteg integrált áramkörök technológiája ' összes példány

Kiadó:	Tankönyvkiadó Vállalat
Kiadás helye:	Budapest
Kiadás éve:	1972
Kötés típusa:	Ragasztott papírkötés
Oldalszám:	78 oldal
Sorozatcím:	A BME Továbbképző Intézetének kiadványa
Kötetszám:	130
Nyelv:	Magyar
Méret:	24 cm x 17 cm
ISBN:
Megjegyzés:	Tankönyvi szám: J5-1055. A könyv 286 példányban jelent meg. 59 fekete-fehér fotóval, ábrával illusztrálva. Kézirat.

Értesítőt kérek a kiadóról

Értesítőt kérek a sorozatról

A beállítást mentettük,
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról

Előszó

A mikroelektronikai áramkörök alkalmazása forradalmasította az elektronikai ipart. Az áramkörök és a berendezések méretei lényegesen csökkentek a korábbi, hagyományos alkatrészekkel szemben. Csökkent az áramkörök súlya és a térfogata. A mikroelektronika fejlődésének első lépcsőfoka a szigetelő alapú integrált áramkörök kidolgozása volt. Az 1950-es évek második felében jelentek meg a szigetelő alapú vékonyréteg áramkörök, ezt követően az 1960-as évek elején pedig a szigetelő alapú vastagréteg integrált áramkörök.
A második célkitűzés - a megbízhatóság növelése volt. A megbízhatóság növekedése több tényezőből tehető össze.
A tendenciózus (öregedési) meghibásodások nagy része kiküszöbölődött azáltal, hogy az alkalmazott teljesítmények igen kicsik voltak. Az esetek túlnyomó többségében az áramkörökre jutó disszipáció elhanyagolhatóvá vált, gyakorlatilag nem jelentett hőmérséklet-növekedést. Részben az alacsony disszipáció, részben pedig az igen gondosan előkészített technológia azt eredményezte, hogy az áramkörök egyes elemeiben lejátszódó fizikai, kémiai és fizikai-kémiai folyamatok rendkívüli mértékben lelassultak, ez azt eredményezte, hogy megfelelőképpen kidolgozott technológia esetében a tendenciózus hibák gyakorlatilag kiküszöbölést nyertek.
Javult a megbízhatóság azáltal is, hogy a technológia kidolgozásánál figyelembe vették azt a tényezőt, hogy az emberi munka által előidézett hibák is minimális számra csökkenjenek. Ezt elsősorban a gépesített, majd automatizált technológia biztosította.
További előnye ezen áramköröknek az, hogy egyszerűbbé vált a szervizelhetőség. Ez elsősorban abban mutatkozott, hogy az esetleg előforduló meghibásodásokat csak egy konkrét áramkör mértékéig kellett behatárolni és a teljes áramkört kellett kicserélni. A hibakeresés műveleti ideje rövidült meg és ez jelentette a javítási és karbantartási költségek csökkenését. Különösen nagy jelentősége van ennek olyan ipari berendezéseknél, ahol a meghibásodás esetén a hozzáférési lehetőségek nehezek és a javítás emiatt költséges. Ilyen berendezések pl. a föld alatt levő telefonkábel-erősítők, a tengerbe fektetett kábelerősítők, a műholdak elektronikai berendezései stb. Vissza

Tartalom

1. Bevezetés 3
2. Vékonyréteg áramkörök 5
2.1 Vékonyrétegek alkalmazása integrált áramkörökben 5
2.1.1 Vékonyrétegek keletkezése és növekedése 5
2.1.2 Vékonyrétegek villamos tulajdonságai 8
2.1.3 A hordozólapkák vizsgálata 9
2.1.4 Vékonyrétegek előállítása 13
2.1.4.1 Vékonyrétegek előállítása vákuumpárologtatás útján 13
2.1.4.2 Vékonyrétegek előállítása katódporlasztással 14
2.1.5 A rétegvastagság mérése 21
2.2 Szigetelő alapú integrált áramköröknél alkalmazott tervezési módszerek 22
2.3 Fotolitográfiai módszerek 24
2.3.1 Maszkrajzok készítése 24
2.3.2 Maszkkészítés 26
2.4 Vékonyréteg áramkörök elemei 33
2.4.1 Vékonyréteg ellenállások 33
2.4.2 Vékonyréteg kondenzátorok 39
2.4.3 Párologtatott induktivitások 43
2.4.4 Az elosztott paraméteri hálózatok 44
2.4.5 Vékonyréteg áramkörök kontaktusai 48
2.4.6 Vékony mágneses rétegek 48
2.4.6.1 Párologtatás útján előállított sík mátrix memóriák 49
2.4.6.2 Huzalmemóriák 50
2.4.6.3 Vékony mágneses rétegeknél alkalmazott vizsgálati módszerek 53
3. Vastagréteg áramkörök 56
3.1 A vastagréteg technika elődei 56
3.2 A vastagréteg technikánál felhasznált anyagok 57
3.2.1 Hordozók 57
3.2.2 Vezetékanyag paszták 57
3.2.3 Ellenállás-paszták 57
3.2.4 Paszták kondenzátorokhoz és vezetékek keresztezéseihez 58
3.2.5 Védő üvegréteg paszták 58
3.3 Vastagréteg áramkörök egyes technológiai kérdései 58
3.4 Az egyes elemek tulajdonságai 60
3.5 A vastagréteg-vékonyréteg technikai összehasonlítása 62
4. Hibrid alkatrészek, hibrid áramkörök 62
4.1 Hibrid félvezető elemek és azok beépítése 62
4.2 Hibrid passzív elemek és azok beépítése 66
5. Szerelés, tokozás 68
5.1 Alacsony nyomású fröccs sajtolás 68
5.2 Hermetikus tokozás 70
6. Vizsgálati módszerek 70
6.1 Gyártás közben történő vizsgálatok 70
6.2 Befejező vizsgálatok 71
6.3 Megbízhatóság vizsgálatok 71
7. Gazdaságossági szempontok 73
Irodalomjegyzék 75

Témakörök

Dr. Katona János

Dr. Katona János műveinek az Antikvarium.hu-n kapható vagy előjegyezhető listáját itt tekintheti meg: Dr. Katona János könyvek, művek

Megvásárolható példányok

Nincs megvásárolható példány
A könyv összes megrendelhető példánya elfogyott. Ha kívánja, előjegyezheti a könyvet, és amint a könyv egy újabb példánya elérhető lesz, értesítjük.

Előjegyzem