Alapvető eljárások 1-7.

Bevezetés, oxidnövesztési módszerek, adalékanyagok diffúziója/Ionimplantáió/Kémiai gőzfázisú rétegleválasztás/Maszkkészítés, fotolitográfia/Rétegmegmunkálási módszerek/Mikroelektronikai szereléstechnika

Szerkesztő

Dr. Laczkó Béla

Fölkl Rezső

Lektor

Dr. Szendrő István

Budapest

'Dr. Laczkó Béla: Alapvető eljárások 1-7. ' összes példány

Kiadó:	Országos Műszaki Információs Központ és Könyvtár
Kiadás helye:	Budapest
Kiadás éve:	1987
Kötés típusa:	Tűzött kötés
Oldalszám:	420 oldal
Sorozatcím:	Mikroelektronikai technológiai füzetek
Kötetszám:	1-7
Nyelv:	Magyar
Méret:	23 cm x 16 cm
ISBN:

Értesítőt kérek a kiadóról

Értesítőt kérek a sorozatról

A beállítást mentettük,
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról

Tartalom

1. füzet
Bevezetés	7
Oxidnövesztési módszerek	12
A SiO2 réteg funkciói	13
Termikus oxidnövesztés	14
Száraz oxidáció	14
Vízgőzös oxidáció	15
Nedves oxidáció	16
A termikus oxidnövesztés módszerei	16
Egyéb oxidelőállítási módszerek	18
Anódos oxidáció	18
Rádiófrekvenciás porlasztás	19
Oxidrétegek minősítése és megmunkálása	19
Adalékanyagok diffuziója	21
A diffuzió elvi alapjai	22
A szilárdtest-diffuzió mechanizmusa	23
A diffuzió alaptörvényei, diffuziós eloszlások	25
Diffuziós rendszerek	31
Adalékanyagok bevitele sziliciumba	36
Bórdiffuzió	36
Foszfordiffuzió	39
Arzéndiffuzió	40
p-n átmenet előállítása diffuzióval	41
A foszfor diffuziós tulajdonságai	43
A bór diffuziós tulajdonságai	44
A diffuziós rétegek minősítése	48
Profilfelvételi módszerek	49
Az alapvető diffuziós paraméterek mérése	51
Függelék	54
Irodalomjegyzék	56
2. füzet
Bevezetés	7
Ionimplantáció mint nem egyensúlyi művelet	7
Történeti áttekintés	8
Az ionimplantáció alkalmazása	8
Az ionimplantáció berendezései	9
Az ionimplanterek fajtái	10
Kis és közepes áramú ionimplanterek	12
Ionforrások	13
Az ionimplantáció hatása szilárdtestekre	14
A csatornahatás	15
Implantált ionok eloszlása szilárdtestekben	18
Fékező mechanizmusok	19
Az adalékeloszlás meghatározása	24
Az ütközéses (recoil) implantáció	28
A céltárgy porlódása ionimplantáláskor	29
Az implantált ionok újraelosztása	31
Az ionimplantáció okozta rácskárosodás	33
A rácshibák létrejötte és fajtái	33
A rácskárosodás mélységfüggése	35
Rácsregeneráló hőkezelési eljárások	36
A roncsolt réteg visszanövésének sebessége	37
Kétlépéses hőkezelés, "tökéletes" adalékolás	38
Hőkezelés besugárzással	38
A hőkezelés után is megmaradó rácskárosodás	41
Implantált adalékok elektromos aktiválása	42
Az ionimplantáció alkalmazásai	43
Félvezető-technológiai alkalmazások	44
Példa az ionimplantáció kis dózisu alkalmazására: a MOS technológia	46
Példa az ionimplantáció nagy dózisu alkalmazására:	49
Ionimplantáció galliumarzenidbe	53
Ionimplantáció alkalmazása fémekben	54
Fémek mechanikai tulajdonságainak megváltoztatása ionimplantációval	55
Korrózióállóság növelése implantációval	55
Fémek elektromos tulajdonságainak megváltoztatása	56
Ionimplantáció alkalmazása optikai anyagokban	56
Egyéb alkalmazások	57
Irodalomjegyzék	58
III. kötet
A CVD technológia elvi alapjai	8
Epitaxiális rétegnövesztés	14
EPI-CVD reaktorok	19
Az epitaxiális rétegek minősítése	22
Az LPCVD és PECVD technológia	24
Az LPCVD technológia	28
A PECVD technológia	31
SiO2, Si3N4 és poli-Si rétegek előállítása kémiai gőzfázisu rétegleválasztással	31
Szilicium-dioxid rétegek előállítása	35
Szilicium-nitrid rétegek előállítása	36
Poliszilicium rétegek előállítása	38
IV. kötet
Bevezetés	7
Ohmikus kontaktus és Schottky-dióta	8
A fémhálózattal szemben támasztott követelmények	15
A fémrétegfelvitel fizikai módszerei	30
A fémgőzölés elvi alapjai	31
A fémgőzölés módszerei	35
Vákuumpárologtatás	35
Fémezési rendszerek	40
Alumínium és alumíniumötvözet fémezés	40
Többrétegű fémezés	42
Többszintű fémezés	43
V. kötet
Integrált áramköri maszkok technológiája	7
A maszkkészítés anyagai, kémiai technológiája	8
Hordozó	9
A maszkhordozók fontos mechanikai jellemzői: méret, síkbeliség, vastagság	10
Bevonat	13
Fotoreziszt	16
Processzálás	17
Ábragenerálás, optikai ábragenerátorok	23
Léptetés-optikai léptetőkamerák	25
A léptetőkamerák felépítése és működése	27
Fotomaszkok ellenőrzése és javítása	32
Fotomaszkok ellenőrzése	32
Fotomaszkok javítása	42
Elektronsugaras képátviteli technológia	46
Raszgterpásztázó rendszerek	47
Vektorpásztázó rendszerek	47
Rendszertípusok	49
Optikai kontra elektronlitográfia	50
Irodalom	52
Optikai litográfia	55
A fotolitográfiás ábrakialakítás módszerei	56
Maszkillesztő berendezések	62
A fotoreziszt lakkok tulajdonságai	63
Fényérzékeny lakkok jellemzése	68
A fotolitográfiás technológia	70
Többrétegű litográfiás eljárások	72
Irodalom	75
Elektronlitográfia	77
Bevezetés	77
Az elektronsugár és a lakkok kölcsönhatása	77
Elektronlitogfáriai rendszerek	80
Alkalmazások	83
Irodalom	84
Röntgenlitográfia	85
A felbontóképességet befolyásoló tényezők	85
Röntgenlitográfiás rendszerek	87
Röntgen-maszkok	88
Röntgen-sugárzásra érzékeny lakkok	89
Röntgen- és elektronsugárzásra érzékeny lakkok	89
Irodalom	92
VI. kötet
Kémiai marások folyadékfázisban	7
Marási profil	8
Különböző rétegek marása	10
Száraz marási eljárások	19
A plazma tulajdonságai	19
A plazma kémiai reakciói	21
Plazmamarási eljárások	23
A plazmamarás paraméterei	25
Ionsugaras marás	30
Irodalomjegyzék	38
Ionlitográfia	42
Bevezetés	42
Az ionlitográfia fajtái	42
Az ionlitográfia előnyei és hátrányai	42
Az ionlitográfiához használható rezisztek	43
Fókuszált ionsugaras litográfia	45
Ionforrások a fókuszált ionsugaras litográfiához	48
Projekciós ionlitográfia	49
Projekciós ionlitográfia kicsinyítéssel	50
Árnyék- és csatornázott maszkos litográfia	51
Az ionlitográfia hatása a szubsztrátra	53
Irodalomjegyzék	55
VII. kötet
Bevezetés	7
Az elemek szétválasztása	8
Karcolás-tördelés	9
Gyémánttárcsás vágás	11
Elembeültetés	11
Eutektikus felforrasztás	12
Epoxigyantás beültetés	13
Huzalkötési technológiák	16
Általános követelmények	16
A termokompressziós kötés	18
Termokompressziós kötési módszerek	19
A termokompressziós kötés kialakulása	21
Degradációs folyamatok az Au-Al rendszerben	29
A termokompressziós kötés technológiája	38
Ultrahangos és termoszónikus kötés	41
Az ultrahangos kötés kialakulása	42
A termoszónikus kötés kialakulása	46
Az ultrahangos kötés technológiája	47
Összetett szereléstechnikai eljárások	53
Tokozás	56
Általános követelmények	57
Alapvető tokozási eljárások	59
Fém/üveg tokozás	60
Műanyag tokozás	60
Kerámiatokozás	62
Alapvető tokkonstrukciók	65
Irodalomjegyzék	69

Témakörök

Műszaki > Elektronika > Elektronikai rendszerek
Műszaki > Technika > Kutatás, fejlesztés
Természettudomány > Kémia > Általános kémia > Általában
Természettudomány > Kémia > Szervetlen kémia
Természettudomány > Kémia > Társtudományok > Egyéb

Megvásárolható példányok

Nincs megvásárolható példány
A könyv összes megrendelhető példánya elfogyott. Ha kívánja, előjegyezheti a könyvet, és amint a könyv egy újabb példánya elérhető lesz, értesítjük.

Előjegyzem